渦旋式真空泵的含義及特點
一、真空泵的含義

       真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。

二、渦旋式真空泵的基本特點

　　渦旋式真空泵由渦旋式壓縮機演變而來，機構原理最早由法國人Cruex于1905年發(fā)明，但受限于當時的工藝技術并未應用于實際，直到上世紀80年代前后才應用于真空技術領域。其結構簡單，零部件少；間隙小、泄漏率小，具有較高的壓縮比，在較寬壓力范圍內有穩(wěn)定的抽速；并且其壓縮腔內需冷卻水與潤滑油，維護簡單，可靠性高。

　　由于渦旋式真空泵自身型線的特點，一般情況下，渦旋式真空泵的抽速不超過1000L/min；抽速大于4L/s的渦旋泵一般采用雙側渦旋結構，而抽速小于4L/s的則多采用單側渦旋結構，極限真空在1Pa左右。